發行單位 : 行政院環境保護署環境保護人員訓練所    
協辦單位 : 財團法人工業技術研究院    
出刊日期 : 民國111年3月5日

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環保技術新知
電漿結合觸媒技術應用於溫室氣體(CF4)減量
工業技術研究院 綠能與環境研究所

前言

全球暖化為全球重視之議題,是由溫室氣體(greenhouse gases, GHGs),包含二氧化碳(CO2)、甲烷(CH4)、二氧化氮(N2O)及全氟碳化合物(perfluorocarbons, PFCs)過度排放所致。表1列舉各溫室氣體之全球暖化潛勢(global warming potential, GWP)及大氣存活時間(life time),其中又以SF6及CF4具有較高的GWP100及較長的存活時間。相關研究指出全球PFCs之排放於2005年為0.95 ×1012 kg-CO2 eq,近年隨半導體產業的活躍,PFCs排放預估於2050年將增加至3.7 × 1012 kg-CO2 eq。PFCs中又以CF4最為重要,其為半導體業製程中重要之氣體,如化學氣相沉積程序(chemical vapor deposition, CVD)及電漿蝕刻(plasma etcing),CF4排放量每年以0.89%速率快速增長中。因此,如何對CF4進行有效減排已是重要議題。

過去針對PFCs去除方式有燃燒及觸媒催化,去除效率皆可>99%,但前者操作溫度需>1200℃,存在能耗、碳排高的問題,雖然觸媒催化可將溫度降至500~750℃,但仍需考量整體之成本負荷。非熱電漿技術(nonthermal plasma, NTP)被證實可應用於空污去除,原理是透過NTP產生的高能電子及活性物種與污染物進行碰撞/反應,達去除效果。但由於CF4解離能高(12.4 eV),因此若僅採用NTP可能無法有效去除CF4 (NTP所產生的電子能量介於1~10 eV)。

非熱電漿結合觸媒,又稱電漿觸媒系統(plasma catalysis system),為一種潛力之空污去除技術。於plasma catalysis system中,電漿跟觸媒可產生顯著交互作用(interaction)及協同效應(synergistic effect),除了可改善單獨NTP及觸媒催化之缺點,亦可有效提升污染物之去除效率及能量效率(energy efficiency),其已成功應用於氮氧化物(NOx)及揮發性有機氣體(VOCs)。因此本文將探討plasma catalysis system CF4之去除,藉此評估其應用可行性。


表1 溫室氣體之全球暖化潛勢及大氣存活時間

 

GWP100

Atmospheric lifetime (year)

CO2

1

30~95

CH4

25

12

N2O

298

121

SF6

23,500

3,200

CF4

6,630

50,000


作法及實驗系統

本文除了探討plasma catalysis system對CF4去除外,亦會建立單獨電漿系統(NTP-alone)及觸媒催化系統進行CF4去除測試,並進行三種系統之比較。首先,於觸媒催化系統中,因γ-Al2O3表面具豐富路易斯酸位點(Lewis acid sites),對CF4轉化具良好活性,故選擇作為觸媒,其測試條件分別為: CF4 = 300 ppm; balance = N2;操作溫度 = 300℃~900℃;空間流速 = 2,000 h-1。而電漿系統則包含NTP-alone及plasma catalysis system,於NTP-alone system中,電漿反應器為介電質放電(dielectric barrier discharge, DBD),放電體積約27.6 cm3,操作電壓範圍介於12~ 23 kV,頻率為18.5 kHz,其餘測試條件相似於觸媒催化系統,以利比較,分別為: CF4 = 300 ppm、balance = N2、氣體流率= 100 mL/min。對於plasma catalysis system,則是將γ-Al2O3整合於NTP中,組成填充床式之plasma catalysis system,γ-Al2O3為pellet type,約有6 g置入NTP,圖1為NTP-alone及plasma catalysis 實驗系統示意圖。CF4濃度透過Fourier transform infrared spectrophotometer (FTIR, Nicolet 6700, USA Thermo Scientific, USA)進行分析。另外,本文亦有探討O2於電漿系統對CF4去除之影響,於反應中產生的CO2及CO則分別利用CO2分析儀(Thermo 41C CO2 Analyzer, USA)及CO分析儀(Testo 350, Germany)進行量測。

圖1 電漿(包含NTP-alone及plasma catalysis)對CF4去除之系統


單獨觸媒系統去除CF4

圖2為觸媒系統對CF4去除結果,指出γ-Al2O3對CF4去除雖隨操作溫度上升而提升,但在900℃條件下,CF4最高之轉化效率仍不到30%,顯示γ-Al2O3對CF4去除效果不佳。相關文獻指出若觸媒系統於CF4去除程序添加水氣,可產生CF4之水解反應(hydrolysis),亦有助於觸媒氧化-還原程序,大幅提升CF4轉化效率。因此,進一步將不同水氣含量5%~45%導入觸媒催化系統,測試CF4之轉化效率,測試條件為: CF4 = 300 ppm、balance = N2、操作溫度 = 900℃、空間流速 = 2,000 h-1,測試結果如圖3所示,指出觸媒催化系統加入水氣後,CF4轉化效率確實有所提升,於水氣含量為45%條件,CF4轉化效率約70%。儘管水氣添加可提升觸媒催化系統對CF4去除,但過高水氣含量可能不適用於實場之應用。

圖2 觸媒催化系統對CF4之去除


圖3 觸媒催化系統於不同水氣含量對CF4之去除


電漿系統去除CF4

電漿系統分別有NTP-alone及plasma catalysis,圖4分別為兩電漿系統對CF4之轉化效率,結果顯示,在操作電壓12~24 kV條件下,plasma catalysis對CF4之轉化除效率皆可>99%,而NTP-alone對CF4之轉化效率則介於52~86%,進一步比較之,plasma catalysis對CF4去除顯著高於NTP-alone。就NTP-alone去除CF4機制而言,首要反應是先透過高能電子碰撞將CF4解離CFi,包含CF3、CF2、CF及F,而F再結合為F2,達去除之目的。於電漿系統中,污染物之轉化效率會隨電壓增加而提升,因此提高施加電壓可增加反應系統之平均電場及電子能量,助於CF4轉化。而反應中CFi自由基(如CF3、CF2、CF)可視為重要反應物種,亦可與CF4反應,相關機制如圖5所示。另外,balance gas N2為電漿反應之放電氣體,扮演舉足輕重之角色,N2於NTP-alone反應中會產生N、N2*、N2(3Δu)、N21Δu)及N2(A3Σ+u)等多種活性物種,其能量分別為N2(3Δu) = 8.89 eV、N21Δu) = 7.35 eV及N2(A3Σ+u) = 6.17 eV,儘管N2(A3Σ+u)能量較低,但其lifetime達13 s,因此被認為是相對較為重要物種。過去文獻提及NTP-alone應用於NOx及VOCs去除,N2(A3Σ+u)角色尤為重要。

另一方面,plasma catalysis為γ-Al2O3與NTP-alone整合而成之系統,如先前所述,電漿與γ-Al2O3存在顯著交互作用及協同效應,有效提升CF4轉化效率。在plasma catalysis機制中,γ-Al2O3將產生類表面放電效應,可增強平均電場及電漿強度;另外,在γ-Al2O3孔洞內可產生微放電,因此,若CF4吸附於γ-Al2O3孔洞時,則提升電漿與CF4之反應。亦有文獻指出在電漿反應程序中,高能電子會碰撞γ-Al2O3表面,產生hot spot effect,使能量轉移於γ-Al2O3表面,進一步觸發觸媒反應。雖plasma catalysis於污染物去除機制複雜,但整體而言,電漿與觸媒整合對CF4去除上有顯著之正面效益。

圖4 電漿系統對CF4之去除


圖5 NTP-alone之高能電子碰撞去除CF4


電漿系統於不同流率下對CF4之去除

進一步探討電漿系統於不同流率下對CF4去除影響,測試流率分別為: 100 mL/min、500 mL/min、1,000 mL/min、2,000 mL/min及3,000 mL/min,其餘條件仍維持: CF4 = 300 ppm及balance = N2。測試結果如圖6所示,指出電漿系統包含(NTP-alone及plasma catalysis)對CF4轉化效率皆隨氣體流率增加而顯著下降,當流率為3,000 mL/min時,plasma catalysis對CF4去除效率僅剩12%,而NTP-alone對CF4之去除效率僅5%不到,顯示電漿系統於CF4去除中,故需有較長氣體停留時間,以確保較佳CF4轉化效率,原因可能與CF4具有較高解離能有關。

圖6 電漿系統於不同流率下對CF4之去除


氧氣(O2)添加對電漿系統去除CF4之影響

氧氣(O2)通常存在各製程之煙氣中,而O2為電漿反應中重要氣體,其為陰電性氣體,對電漿產生的電子有較強吸引力,故不利於污染物之轉化。圖7為電漿系統中於含5% O2條件對CF4之去除,而其他條件為: CF4 = 300 ppm及balance = N2,結果顯示在12~23 kV之電壓範圍下,NTP-alone及plasma catalysis對CF4之轉化效率皆顯著下降,指出在O2條件下不利於CF4轉化。但相關文獻指出適當O2/CF4 ratio有助於CF4轉化,最佳O2/CF4 ratio範圍介於1.0~1.25。另外先前文獻利用NTP去除VOCs,指出當O2含量於~1%,VOCs去除率最佳。上述結果顯示適當O2含量可有助於污染物去除,圖8為plasma catalysis於含有O2條件下對CF4去除機制示意圖,而plasma catalysis於上述條件下,去除CF4CO2及CO選擇性分別為29~41%及11~23%。

圖7 電漿系統在含5% O2對CF4之去除


圖8 Plasma catalysis在含5%對CF4去除之機制


氬氣(Ar)添加對電漿系統去除CF4之影響

由前述討論指出過量O2會導致電漿系統對CF4轉化效率下降,為減少O2影響,進一步加入Ar,其為電漿去除空污反應中,重要氣體之一。Ar除了有較低介電強度(dielectric strength)外,重要是其激發後介穩態物種(Ar*)之能量可達13 eV。故添加Ar預期可有效減緩O2對CF4去除之不利影響。測試條件分別為CF4 =300 ppm/N2、O2 = 5%。圖9 為plasma catalysis在同時含有Ar及O2條件對CF4去除之結果,顯示在12~23 kV之電壓範圍條件,plasma catalysis對CF4轉化效率隨Ar含量增加而顯著提升,當Ar含量為10%時,於18 kV之CF4轉化效率可>90%,進一步將Ar含量增加至20%,於電壓12 kV條件,則可達>95%。雖Ar添加有助於CF4轉化,但未來應用於實場時能需考量其成本效益。

圖9 Plasma catalysis含Ar及O2條件對CF4去除


結論

本文透過不同系統,包含觸媒催化系統、單獨電漿系統(NTP-alone)及電漿觸媒系統(plasma catalysis)進行CF4去除,以探討plasma catalysis於實場應用之可行性。首先於觸媒催化系統,γ-Al2O3對CF4去除效果不佳,操作於900℃條件下,CF4轉化效率仍低於30%。進一步添加水氣雖可改善CF4之轉化效率,但過量水氣可能於實場應用上較為受限。而NTP-alone同樣雖可去除CF4,但操作電壓需施加至23 kV,轉化效率才可達>80%;相較於plasma catalysis,其僅操作於12 kV,CF4轉化效率即可>99%。若將上述3個系統進行比較,因觸媒催化系統不僅需操作於高溫及過量水氣條件下,且對CF4轉化效率亦無法達滿意標準。而電漿系統可於室溫條件,即對CF4有轉化效率,特別為plasma catalysis,其可有效去除CF4 (於相對單純氣氛條件下)。儘管plasma catalysis應用於CF4去除仍有瓶頸待克服,如停留時間及O2存在影響,但整體而言,本文所呈現之實驗結果證實plasma catalysis有潛力應用於實場之CF4去除。

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開班資訊
環保證照訓練3月-4月開班期程表

※ 環保專責及技術人員訓練將視嚴重特殊傳染性肺炎(COVID-19,簡稱新冠肺炎)疫情異動, 實際開班日期請至本所開班資訊網頁查詢或逕洽各班期聯絡人。



健康風險評估專責人員訓練(密集)班


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11102

03/28-03/31 中央大學


健康風險評估專責人員訓練(週末)班


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11105

03/19-03/27 成大研究發展基金會


甲級空氣污染防制專責人員訓練(週末)班


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11103

03/12-04/23 工研院(新竹)

11114

03/20-05/14 中興大學

11117

03/26-05/29 成功大學

11112

04/16-05/29 中山大學

11105

04/16-06/19 逢甲大學


乙級空氣污染防制專責人員訓練(週末)班


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11101

03/05-04/10 台大慶齡中心

11105

03/19-05/07 逢甲大學

11110

04/16-05/28 中山大學


乙級升甲級空氣污染防制專責人員訓練(週末)班


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11111

03/12-04/23 工研院(新竹)

11118

03/20-05/14 中興大學

11113

04/16-05/29 中山大學


甲級廢(污)水處理專責人員訓練(週末班)


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開 班 日 期 開 班 地 點

11115

03/05-04/16 陽明交通大學

11112

03/05-04/30 淡江大學台北校園

11109

03/19-05/15 產基會(萬能科技大學)

11104

03/19-05/22 東海大學

11110

03/26-05/15 嘉南大學

11118

04/09-05/28 中山大學

11117

04/09-05/29 中興大學

11108

04/16-05/29 產基會(南華高中)


乙級廢(污)水處理專責人員訓練(週末班)


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11103

03/05-04/17 東海大學

11110

03/05-04/17 淡江大學台北校園

11112

03/12-04/10 陽明交通大學

11102

03/12-04/17 台大慶齡中心

11113

04/17-05/29 中興大學

11111

04/24-06/12 逢甲大學


乙升甲級廢(污)水處理專責人員訓練班


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11116

03/05-04/16 陽明交通大學

11113

03/05-04/30 淡江大學台北校園

11105

03/19-05/22 東海大學

11119

04/09-05/28 中山大學


甲級廢棄物處理專業技術人員訓練(週末班)104


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11115

03/05-04/17 中興大學(原2/12班別順延至3/5)

11109

03/19-05/15 中央大學

11110

03/19-05/15 嘉南大學

11121

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11112

03/26-05/28 中山大學

11120

04/09-05/28 工研院(台北)

11108

04/10-06/11 東海大學

11106

04/23-05/29 陽明交通大學


乙級升甲級廢棄物處理專業技術人員訓練(週末班)104


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11116

03/05-04/17 中興大學(原2/12班別順延至3/5)

11127

03/19-05/15 嘉南大學

11111

03/19-05/15 中央大學

11114

03/26-05/28 中山大學

11130

04/10-06/11 東海大學

11107

04/23-05/29 陽明交通大學


乙級廢棄物處理專業技術人員訓練班(週末班)104


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11115

03/05-04/09 東海大學

11117

03/05-04/09 成功大學

11108

03/05-04/10 中山大學

11126

03/06-04/16 工研院(桃園)

11104

03/12-04/10 陽明交通大學

11119

03/19-05/07 淡江大學

11102

04/09-05/15 雲林科技大學

11131

04/09-05/22 嘉南大學

11105

04/16-05/21 東海大學

11103

04/16-05/21 台大慶齡中心

11118

04/23-06/12 產基會(慈濟大學)

11129

04/30-05/28 屏東科技大學


乙清轉乙處廢棄物處理專業技術人員訓練班(週末班)104


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開 班 日 期 開 班 地 點

11123

03/19-05/07 淡江大學


乙級廢棄物處理專業技術人員補正訓練班(週末班)104


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開 班 日 期 開 班 地 點

11128

03/05-04/10 中山大學


乙級升甲級廢棄物清除專業技術人員訓練班(週末班)104


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11103

03/05-04/17 中興大學(原2/12班別順延至3/5)

11106

03/19-05/15 中央大學

11104

03/26-05/28 中山大學

11108

04/10-06/11 東海大學

11107

04/23-05/29 陽明交通大學


乙級廢棄物清除專業技術人員訓練班(週末班)104


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11103

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11107

03/19-05/07 淡江大學

11102

04/09-05/15 雲林科技大學


丙級廢棄物清除專業技術人員訓練班(週末班)104


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11109

03/05-04/09 成功大學

11102

03/26-04/10 東海大學

11108

04/09-05/15 雲林科技大學

11106

04/20-05/04 淡江大學

11104

04/23-05/07 淡江大學


甲級毒性及關注化學物質專業技術管理人員訓練(週末)班


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開 班 日 期 開 班 地 點

11104

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11102

03/13-04/10 東海大學

11108

04/23-05/22 高雄科技大學

11101

04/23-05/29 產基會


乙級升甲級毒性及關注化學物質專業技術管理人員訓練(週末)班


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開 班 日 期 開 班 地 點

11105

03/05-03/27 元培醫事科技大學

11103

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乙級毒性及關注化學物質專業技術管理人員訓練(密集)班


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11106

03/15-03/23 陸軍化生放核訓練中心


乙級毒性及關注化學物質專業技術管理人員訓練(週末)班


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11104

03/12-03/26 成功大學

11102

03/19-04/10 東海大學


丙級毒性及關注化學物質專業技術管理人員訓練(週末)班


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11102

03/26-03/27 元培醫事科技大學

11104

03/26-03/27 成功大學

11101

04/09-04/10 東海大學


環境用藥製造業專業技術人員訓練班(週末班)


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11102

03/05-03/13 淡江大學台北校區


環境用藥販賣業專業技術人員訓練班(週末班)


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11102

03/05-03/13 淡江大學台北校區


病媒防治業專業技術人員訓練班(週末班)


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開 班 日 期 開 班 地 點

11103

03/05-03/27 東海大學管理學院

11101

03/12-04/17 淡江大學台北校區

11105

03/19-04/17 臺南文化創意產業園區


病媒防治業專業技術人員訓練班(密集班)


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11102

03/14-03/20 淡江大學台北校區

11104

04/11-04/18 東海大學管理學院


室內空氣品質維護管理專責人員訓練(週末)班-106


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11107

03/12-03/19 嘉南大學

11110

03/12-03/19 臺灣環保協會

11108

03/19-03/27 中央大學

11114

04/23-04/30 弘光科技大學


室內空氣品質維護管理專責人員訓練(密集)班-106


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11112

03/14-03/16 中國勞安學會

11109

04/12-04/14 臺灣環保協會


目測檢查人員複訓班


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11105

03/02-03/02 中央大學

11104

03/03-03/03 成功大學

11107

03/03-03/03 中央大學

11106

04/07-04/07 成功大學


公私場所噪音狀況檢查或鑑定人員訓練(密集班)


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11102

04/11-04/14 東海大學管理學院


汽車排放控制系統及惰轉狀態檢查人員訓練105


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11103

04/26-04/29 崑山科技大學


機車排放控制系統及惰轉狀態檢查人員訓練105


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11103

03/22-03/25 中興大學


空氣污染防制專責人員到職訓練


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11102

03/05-04/10 台大慶齡中心

11104

03/12-04/09 工研院(新竹)

11109

03/19-05/07 逢甲大學

11119

03/20-05/14 中興大學

11120

03/26-05/29 成功大學

11118

04/16-05/29 中山大學

11110

04/16-06/19 逢甲大學


廢(污)水處理專責人員到職訓練


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11105

03/05-04/10 淡江大學台北校園

11106

03/05-04/16 陽明交通大學

11110

03/05-04/24 淡江大學成人教育部

11112

03/12-03/26 台大慶齡中心

11107

03/12-04/10 陽明交通大學

11101

03/19-03/20 東海大學(專班)

11108

03/19-03/20 嘉南大學(專班)


廢棄物清除、處理專業技術人員到職訓練(甲、乙級)


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11114

03/05-04/10 中山大學

11115

03/05-04/10 東海大學

11116

03/05-04/17 中興大學

11103

03/12-03/13 陽明交通大學

11109

03/19-05/07 淡江大學

11106

03/19-05/15 中央大學

11118

03/26-04/30 嘉南大學

11102

04/09-05/15 雲林科技大學

11104

04/23-05/29 陽明交通大學


廢棄物清除專業技術人員到職訓練(丙級)


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11101

04/23-05/07 淡江大學


毒性及關注化學物質專業技術管理人員到職訓練(甲、乙級)


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11105

03/05-03/27 元培醫事科技大學

11104

03/12-03/13 成功大學

11101

03/13-04/10 東海大學

11102

04/23-05/22 高雄科技大學


毒性及關注化學物質專業技術管理人員到職訓練(丙級)


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11101

03/26-03/27 成功大學


環境用藥專業技術人員(病媒防治業)到職訓練


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11104

03/16-03/16 淡江大學台北校園


室內空氣品質維護管理專責人員到職訓練


期 別

開 班 日 期 開 班 地 點

11103

04/24-04/24 弘光科技大學

*以上期程表為預訂辦理班期,實際開班日期及班期聯絡人請逕至以下開班資訊網頁查詢https://record.epa.gov.tw/eptiweb/Voucher/wFrmRecent.aspx?Type=B

*報名資格請參考:環境保護專責及技術人員訓練管理辦法
https://law.moj.gov.tw/LawClass/LawAll.aspx?pcode=O0100006



環境教育研習課3月-4月開班期程表


班 期 類 別

學歷核心科目研習

上 課 地 點

國立宜蘭大學

課 程 類 別

周末班

預 定 上 課 日 期

2022/04/09至2022/04/23

聯 絡 方 式


招生簡章:簡章連結
網路報名:報名網頁
聯絡人:吳懿菱
聯絡電話:(03)9317870
電子信箱:eec@ems.niu.edu.tw



班 期 類 別

學歷核心科目研習

上 課 地 點

國立高雄師範大學

課 程 類 別

平日班

預 定 上 課 日 期

2022/03/01至2022/03/15

聯 絡 方 式


招生簡章:
網路報名:
聯絡人:張惠婷
聯絡電話:(07)7172930#7031
電子信箱:s2830@mail.nknu.edu.tw



班 期 類 別

學歷核心科目研習

上 課 地 點

國立臺中教育大學

課 程 類 別

平假日

預 定 上 課 日 期

2022/04/01至2022/04/30

聯 絡 方 式


招生簡章:簡章連結
網路報名:報名網頁
聯絡人:李雅鳳
聯絡電話:04-22183542
電子信箱:gienentcu@gmail.com



班 期 類 別

學歷核心科目研習

上 課 地 點

財團法人台灣產業服務基金會

課 程 類 別

周末班

預 定 上 課 日 期

2022/03/19至2022/03/27

聯 絡 方 式


招生簡章:
網路報名:報名網頁
聯絡人:邱心淳
聯絡電話:02-77045118
電子信箱:hcc306124@ftis.org.tw



班 期 類 別

學歷核心科目研習

上 課 地 點

國立清華大學

課 程 類 別

平假日

預 定 上 課 日 期

2022/03/18至2022/04/09

聯 絡 方 式


招生簡章:簡章連結
網路報名:報名網頁
聯絡人:陳雨彤
聯絡電話:03-5715131#72830
電子信箱:nhcue.ceer@gmail.com



班 期 類 別

經歷專長行政研習

上 課 地 點

國立宜蘭大學

課 程 類 別

周末班

預 定 上 課 日 期

2022/04/09至2022/04/23

聯 絡 方 式


招生簡章:簡章連結
網路報名:報名網頁
聯絡人:吳懿菱
聯絡電話:(03)9317870
電子信箱:eec@ems.niu.edu.tw



班 期 類 別

經歷專長行政研習

上 課 地 點

國立高雄師範大學

課 程 類 別

平日班

預 定 上 課 日 期

2022/03/01至2022/03/15

聯 絡 方 式


招生簡章:
網路報名:
聯絡人:張惠婷
聯絡電話:(07)7172930#7031
電子信箱:s2830@mail.nknu.edu.tw



班 期 類 別

經歷專長行政研習

上 課 地 點

國立清華大學

課 程 類 別

平假日

預 定 上 課 日 期

2022/03/18至2022/04/09

聯 絡 方 式


招生簡章:簡章連結
網路報名:報名網頁
聯絡人:陳雨彤
聯絡電話:03-5715131#72830
電子信箱:nhcue.ceer@gmail.com



班 期 類 別

訓練及評量(環境及資源管理)

上 課 地 點

國立宜蘭大學

課 程 類 別

周末班

預 定 上 課 日 期

2022/04/09至2022/06/26

聯 絡 方 式


招生簡章:簡章連結
網路報名:報名網頁
聯絡人:吳懿菱
聯絡電話:(03)9317870
電子信箱:eec@ems.niu.edu.tw



班 期 類 別

訓練及評量(學校及社會環境教育)

上 課 地 點

國立高雄師範大學

課 程 類 別

平日班

預 定 上 課 日 期

2022/03/01至2022/05/13

聯 絡 方 式


招生簡章:
網路報名:報名網頁
聯絡人:張惠婷
聯絡電話:(07)7172930#7031
電子信箱:s2830@mail.nknu.edu.tw



班 期 類 別

認證展延研習

上 課 地 點

國立臺中教育大學

課 程 類 別

周末班

預 定 上 課 日 期

2022/04/16至2022/04/17

聯 絡 方 式


招生簡章:簡章連結
網路報名:報名網頁
聯絡人:李雅鳳
聯絡電話:04-22183542
電子信箱:gienentcu@gmail.com



班 期 類 別

認證展延研習

上 課 地 點

國立臺中教育大學

課 程 類 別

周末班

預 定 上 課 日 期

2022/04/23至2022/04/24

聯 絡 方 式


招生簡章:簡章連結
網路報名:報名網頁
聯絡人:李雅鳳
聯絡電話:04-22183542
電子信箱:gienentcu@gmail.com



班 期 類 別

認證展延研習

上 課 地 點

國立清華大學

課 程 類 別

平假日

預 定 上 課 日 期

2022/03/18至2022/04/09

聯 絡 方 式


招生簡章:簡章連結
網路報名:報名網頁
聯絡人:陳雨彤
聯絡電話:03-5715131#72830
電子信箱:nhcue.ceer@gmail.com


※ 以上為預定開班期程,實際開班狀況是否受疫情影響延期,請逕洽環教機構承辦人,或至環境教育認證系統-開辦課程查詢:https://eecs.epa.gov.tw/front/apclass/agency_class_qry.aspx