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發行單位 : 行政院環境保護署環境保護人員訓練所   協辦單位 : 財團法人工業技術研究院   出刊日期 : 民國110年7月5日

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環保技術新知

半導體晶圓廠應用高效蜂巢式濾材長期監測去除混酸廢氣成果
國立陽明交通大學環境工程研究所 洪廣華 蔡春進

    在台灣的高科技產業,使用大量的酸性(如H2SO4、HF、HCl、HNO3)和鹼性溶劑(如NH3),被廣泛的應用在蝕刻製程的清洗程序。若未經有效處理經由排放管道排至大氣中,這些前驅污染氣體容易發生光化反應,導致光化學霧影響空氣品質。目前台灣環保法規規範洗滌塔對酸氣(鹽酸、氫氟酸、硝酸及磷酸)去除效率應大於95%,總排放量應小於0.6 kg/h,硫酸去除效率應大於95%,總排放量應小於0.1 kg/h。但因目前除酸洗滌塔大部分都無法達到此規範,只能符合法規內的操作條件(pH<7、濕潤因子>0.1m3/h、滯留時間>0.5 sec及比表面積>90 m2/m3)當標準,但這容易造成去除效率過低的疑慮。以半導體、光電產業為例,其酸鹼廢氣排放特性是進氣濃度較低但排氣量大,換算成排放量可知對空氣品質的影響甚鉅。在我們先前的研究發現傳統洗滌塔對於處理低濃度的效率遠低於法規的去除率要求,Tsai et al. (2003)發現洗滌塔對於鹽酸、氫氟酸及氨氣的去除效率不佳,當濃度低於650μg/m3時去除效率即低於70%,且進氣中污染物濃度越低,處理效率越差,甚至常無法達到設計去除效率,故此更難符合法規規範的95%去除率。 本團隊先前研究,實驗室測試1.0 CMM的洗滌塔填料更換為高效蜂巢式結構材料,具有很大的比表面積(480 m² m⁻³)及低壓損,而去除酸氣的效率都維持95%以上。依據雙膜理論洗滌塔是一種提供氣液間發生質量傳遞的介質,透過填充材料增強兩相的質傳能力,如圖一所示。對於酸鹼性廢氣而言,影響去除效率最大者為填充材比表面積與堆疊方式,其次為循環水的導電度值及相關操作條件等。利用前述研究我們將處理風量放大至100 CMM並設置在某半導體廠長期監測,操作條件如表一所示,另經過使用3年半的監測結果顯示,氫氟酸去除率97.2 ± 0.8% (inlet concentration(Cin) = 32.9–180.7 ppmv),酸酸去除率96.9 ± 1.1% (Cin = 12.6–72.6 ppmv),鹽酸去除率97.7 ± 0.7% (Cin = 1.4–15.2 ppmv),硝酸去除率 97.5 ± 1.2% (Cin = 1.2–12.4 ppmv),亞硝酸去除率96.3 ± 0.9% (Cin = 0.2–6.0 ppmv),及硫酸去除率 96.5 ± 0.7% (Cin = 0.2–1.6 ppmv),如圖二~圖三所示。另外系統壓損在長期(>3.5年)使用監測結果,隨著使用時間增加僅些微增加介於49.0–78.4 Pa (0.5-0.8 cmH2O)。





     這研究在2016年8月到2020年3月間,評估高效蜂巢式結構材料實廠應用監測結果顯示,濾材不受來源混酸濃度高低(ave. 709 ± 324 ppbv~ ave.105,505 ± 41,039 ppbv)而影響去除效率,始終維持95%以上。故此,高效蜂巢式濾材是可取代傳統拉西環,並可長期使用來去除混酸廢氣及臭味控制的新型填料。

Reference
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開班資訊
環保證照訓練12 ~ 1月開班期程表

※ 環保專責及技術人員訓練將視嚴重特殊傳染性肺炎(COVID-19,簡稱新冠肺炎)疫情異動,實際開班日期請至本所開班資訊網頁查詢或逕洽各班期聯絡人。

班別名稱

期別

開班日期

開班地點

健康風險評估專責人員訓練(週末)班

11010

07/10-07/18

中國醫藥大學

原訂7/10開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

甲級空氣污染防制專責人員訓練(密集)班

11023

07/20-08/04

中央大學(環工專班)

甲級空氣污染防制專責人員訓練(週末)班

11006

07/31-09/05

工研院(桃園)

11008

07/31-09/26

工研院(台北)

11003

08/07-09/26

產基會(明志科大)

11033

08/14-09/26

中興大學

11029

08/14-10/02

工研院(新竹)

11021

08/14-10/03

中央大學

乙級空氣污染防制專責人員訓練(週末)班

11006

07/17-08/15

雲林科技大學

11012

07/17-08/22

中興大學

11005

07/17-08/29

逢甲大學

11003

07/24-08/28

工研院(台北)

乙級升甲級空氣污染防制專責人員訓練(密集)班

11024

07/20-08/04

中央大學(環工專班)

乙級升甲級空氣污染防制專責人員訓練(週末)班

11032

07/31-09/05

工研院(桃園)

11004

08/07-09/26

產基會((明志科大)

11022

08/14-10/03

中央大學

甲級廢()水處理專責人員訓練(密集班)

11024

07/07-07/23

中央大學(環工專班)

原訂7/7開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11045

07/26-08/03

逢甲大學

11042

08/09-08/22

東海大學

甲級廢()水處理專責人員訓練(週末班)

11010

07/03-08/21

淡江大學台北校園

原訂7/3開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11014

07/17-08/29

雲林科技大學

11003

07/31-09/05

產基會(南華高中)

11035

08/07-09/19

東海大學

11020

08/14-09/26

逢甲大學

11005

08/14-10/03

產基會(萬能科技大學)

11039

08/14-10/03

陽明交通大學

乙級廢()水處理專責人員訓練(週末班)

11008

07/24-08/22

雲林科技大學

11020

07/25-08/29

中興大學

11002

07/31-08/29

產基會(花蓮)

11013

07/31-09/13

逢甲大學

11001

08/07-09/05

產基會(南華高中)

11019

08/14-09/19

東海大學

11004

08/14-09/26

台大慶齡中心

11010

08/14-09/26

雲林科技大學

11011

08/21-10/02

交通大學

乙升甲級廢()水處理專責人員訓練班

11011

07/03-08/21

淡江大學台北校園

原訂7/3開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11025

07/07-07/23

中央大學(環工專班)

原訂7/7開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11044

07/17-08/29

雲林科技大學

11004

07/31-09/05

產基會(南華高中)

11036

08/07-09/19

東海大學

11042

08/09-08/22

東海大學

11040

08/14-10/03

陽明交通大學

11006

08/14-10/03

產基會(萬能科技大學)

甲級廢棄物處理專業技術人員訓練(週末班)104

11026

07/24-09/05

中央大學

11012

07/31-09/05

工研院(桃園)

11040

08/01-09/12

中興大學

11034

08/07-09/26

工研院(台北)

11021

08/07-10/03

雲林科技大學

11031

08/14-09/25

屏東科技大學環科系訓練班

11013

08/14-10/02

工研院(新竹)

11037

08/14-10/03

成功大學

11039

08/14-10/03

東海大學

11010

08/21-10/03

交通大學

乙級升甲級廢棄物處理專業技術人員訓練(週末班)104

11027

07/24-09/05

中央大學

11044

07/31-09/05

工研院(桃園)

11041

08/01-09/12

中興大學

11030

08/07-10/03

雲林科技大學

11038

08/14-10/03

成功大學

11046

08/14-10/03

東海大學

11011

08/21-10/03

交通大學

乙級廢棄物處理專業技術人員訓練班(週末班)104

11016

07/03-08/01

雲林科技大學

原訂7/3開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11038

07/03-08/07

嘉南大學

原訂7/3開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11012

07/09-08/07

產基會(南華高中)

原訂7/9開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11026

07/10-08/08

中央大學

原訂7/10開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11004

07/17-08/08

交通大學(新竹光復校區)

11028

07/17-08/15

屏東科技大學環科系訓練班

11037

07/17-08/22

中興大學

11035

07/24-08/22

東海大學

11044

07/24-08/29

淡江大學

11014

07/24-09/04

產基會(明志科大)

11013

08/07-09/05

產基會(慈濟大學)

11008

08/14-09/05

工研院(新竹)

11040

08/14-09/12

台大慶齡中心

11042

08/14-09/25

屏東科技大學環科系訓練班

11043

08/28-10/03

成功大學

乙清轉乙處廢棄物處理專業技術人員訓練班(週末班)104

11034

07/17-08/08

陽明交通大學(新竹光復校區)

甲級廢棄物清除專業技術人員訓練班(週末班)104

11008

07/24-09/05

中央大學

乙級升甲級廢棄物清除專業技術人員訓練班(週末班)104

11011

07/24-09/05

中央大學

11007

07/31-09/05

工研院(桃園)

乙級廢棄物清除專業技術人員訓練班(週末班)104

11009

07/03-08/01

雲林科技大學

原訂7/3開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11001

07/17-08/08

交通大學(新竹光復校區)

11023

07/24-08/22

東海大學

11022

07/24-08/29

淡江大學

11012

08/14-09/05

工研院(新竹)

丙級廢棄物清除專業技術人員訓練班(週末班)104

11009

07/24-08/22

東海大學

丙級升乙級廢棄物清除專業技術人員訓練班(週末班)104

11023

07/24-08/29

淡江大學

甲級毒性及關注化學物質專業技術管理人員訓練(密集)班

11012

08/10-08/19

陸軍化生放核訓練中心

乙級毒性及關注化學物質專業技術管理人員訓練(週末)班

11001

08/07-08/22

產基會(花蓮)

11002

08/14-08/29

產基會(台北)

11009

08/14-08/29

高雄科技大學

環境用藥製造業專業技術人員訓練班(週末班)

11003

08/07-08/15

成功大學

11004

08/07-08/15

東海大學管理學院

環境用藥販賣業專業技術人員訓練班(週末班)

11003

08/07-08/15

成功大學

11005

08/07-08/15

東海大學管理學院

病媒防治業專業技術人員訓練班(週末班)

11009

07/24-08/15

東海大學管理學院

11007

08/21-09/05

淡江大學台北校區(本班期因疫情延期辦理,俟日期確定後再通知)

病媒防治業專業技術人員訓練班(密集班)

11008

07/19-07/25

淡江大學台北校區

11010

08/02-08/08

淡江大學台北校區

11005

08/09-08/15

東海大學管理學院

室內空氣品質維護管理專責人員訓練(週末)班-106

11021

07/24-07/31

弘光科技大學

11023

07/24-07/31

崑山科技大學

11012

07/24-07/31

工研院(桃園)

11010

07/24-08/01

中央大學

11014

08/07-08/14

工研院(台北)

11017

08/07-08/14

高雄科技大學

11019

08/21-08/28

嘉南大學(台南)

室內空氣品質維護管理專責人員訓練(密集)班-106

11013

07/14-07/16

工研院(台北)

11022

07/21-07/23

嘉南大學(高醫大)

11005

07/27-07/29

崑山科技大學

11020

07/28-07/30

嘉南大學(台南)

11003

08/03-08/05

臺灣環保協會(東海大學第二教學區)

11016

08/12-08/14

高雄科技大學(第一校區)

11018

08/24-08/26

嘉南大學(嘉義)

土壤污染評估調查人員訓練(週末班)

11002

07/10-07/24

工研院(台北)

原訂7/10開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

目測檢查人員複訓班

11010

07/29-07/29

成功大學

11012

08/05-08/05

成功大學

11009

08/16-08/16

中央大學

11011

08/17-08/17

中央大學

11013

08/19-08/19

中央大學

11015

08/19-08/19

中央大學

公私場所噪音狀況檢查或鑑定人員訓練(密集班)

11003

07/12-07/16

中部-東海大學管理學院

原訂7/12開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11004

08/03-08/06

南部-崑山科技大學

公私場所噪音狀況檢查或鑑定人員訓練(週末班)

11001

07/17-07/25

中部-東海大學管理學院

空氣污染物目測檢查人員訓練班106

11001

08/23-08/25

中央大學

汽車排放控制系統及惰轉狀態檢查人員訓練105

11002

08/24-08/27

中興大學

空氣污染防制專責人員到職訓練

11008

07/17-08/15

雲林科技大學

11020

07/17-08/22

中興大學

11018

07/20-08/04

中央大學

11022

07/31-08/15

工研院(桃園)

11002

08/07-09/26

產基會(明志科大)

11023

08/14-09/26

中興大學

11016

08/14-10/03

中央大學

()水處理專責人員到職訓練

11002

07/31-08/29

產基會(花蓮)

11003

07/31-09/05

南華高中

11001

08/07-09/05

南華高中

11018

08/07-09/19

東海大學

11024

08/09-08/22

東海大學

11004

08/14-10/03

萬能科技大學

11008

08/14-10/03

交通大學

11021

08/21-10/02

陽明交通大學

毒性及關注化學物質專業技術管理人員到職訓練(甲、乙級)

11004

07/10-07/25

產基會(台北)

原訂7/10開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

環境用藥專業技術人員(病媒防治業)到職訓練

11005

08/21-09/05

東海大學管理學院

廢棄物清除、處理專業技術人員到職訓練(甲、乙級)

11018

07/03-08/01

雲林科技大學

原訂7/3開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11013

07/10-08/08

中央大學

原訂7/10開班,因疫情延期辦理,請洽開班機構。

11023

07/17-08/08

陽明交通大學(新竹光復校區)

11033

07/24-08/22

東海大學

11032

07/24-08/29

淡江大學

11012

07/24-09/05

中央大學

11031

07/31-09/05

工研院(桃園)

11002

08/21-10/03

交通大學

室內空氣品質維護管理專責人員到職訓練

11006

07/14-07/16

工研院(台北)

11002

07/25-07/25

弘光科技大學

11005

08/12-08/14

高雄科技大學

 

*以上期程表為預訂辦理班期,實際開班日期及班期聯絡人請逕至以下開班資訊網頁查詢https://record.epa.gov.tw/eptiweb/Voucher/wFrmRecent.aspx?Type=B*報名資格請參考: 環境保護專責及技術人員訓練管理辦法https://law.moj.gov.tw/LawClass/LawAll.aspx?pcode=O0100006

* 表示跨月份辦理班期

 

※ 以上期程表為預訂辦理班期,實際開班日期及班期聯絡人請逕至開班資訊網頁查詢

 

※ 報名資格請參考: 環境保護專責及技術人員訓練管理辦法

環境教育研習課程12 ~ 1月開班新訊

班期類別

上課地點

課程類別

預定上課日期

聯絡方式

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國立臺中教育大學

平日班

2021/07/012021/07/31

聯絡人:李雅鳳

電話:04-22183542

信箱:gienentcu@gmail.com

學歷核心科目研習

嘉藥學校財團法人嘉南藥理大學

周末班

110/07/03 110/07/17

招生簡章

網路報名

聯絡人:黃敬甯

電話:0970780200

信箱:0970780200aaa@gmail.com

學歷核心科目研習

國立彰化師範大學

周末班

2021/07/032021/08/31

招生簡章
網路報名

聯絡人:張小姐

電話:047232105#3031

信箱:eec@cc2.ncue.edu.tw

學歷核心科目研習

國立高雄師範大學

平日班

2021/07/052021/07/26

招生簡章
網路報名

聯絡人:張惠婷

電話:(07)7172930#7031

信箱:s2830@mail.nknu.edu.tw

學歷核心科目研習

國立中央大學

平假日

2021/07/062021/07/20

聯絡人:李宗勳

電話:0932389092

信箱:fy3e@ncu.edu.tw

學歷核心科目研習

南華大學

周末班

2021/08/052021/08/13

招生簡章

聯絡人:陳永宗

電話:05-2721001-3421

信箱:leo6342@nhu.edu.tw

經歷專長行政研習

嘉藥學校財團法人嘉南藥理大學

周末班

110/07/03 110/07/17

招生簡章
網路報名

聯絡人:黃敬甯

電話:0970780200

信箱:0970780200aaa@gmail.com

經歷專長行政研習

國立彰化師範大學

周末班

2021/07/03

2021/08/31

招生簡章
網路報名

聯絡人:張小姐

電話:047232105#3031

信箱:eec@cc2.ncue.edu.tw

經歷專長行政研習

國立高雄師範大學

平日班

2021/07/052021/07/28

招生簡章
網路報名

聯絡人:張惠婷

電話:(07)7172930#7031

信箱:vh@nknu.edu.tw

訓練及評量(自然保育)

南華大學

平假日

2021/07/01

2021/07/31

招生簡章
網路報名

聯絡人:陳永宗

電話:05-2721001#3421

信箱:leo6342@nhu.edu.tw

訓練及評量

(公害防治)

嘉藥學校財團法人嘉南藥理大學

周末班

2021/07/03

2021/08/22

招生簡章
網路報名

聯絡人:黃敬甯

電話:0970780200

信箱:0970780200aaa@gmail.com

訓練及評量(自然保育)

國立彰化師範大學

周末班

2021/07/03

2021/10/31

招生簡章
網路報名

聯絡人:張小姐

電話:047232105#3031

信箱:eec@cc2.ncue.edu.tw

訓練及評量(學校及社會環境教育)

國立高雄師範大學

平日班

2021/07/052021/09/06

招生簡章
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聯絡人:張惠婷

電話:(07)7172930#7031

信箱:s2830@mail.nknu.edu

訓練及評量(環境及資源管理)

國立中央大學

平假日

2021/07/062021/08/28

聯絡人:李宗勳

電話:0932389092

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認證展延研習

國立臺中教育大學

周末班

110/07/17110/07/18

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聯絡人:李雅鳳

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認證展延研習

國立臺中教育大學

周末班

110/07/24110/07/25

招生簡章
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認證展延研習

國立臺中教育大學

周末班

110/08/14110/08/15

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行政院環境保護署環境保護人員訓練所

地址:桃園市中壢區民族路三段260號5樓  電話:03-4020789

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發行單位 : 行政院環境保護署環境保護人員訓練所
協辦單位 : 財團法人工業技術研究院
出刊日期 : 民國110年7月5日

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