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發行單位 : 行政院環境保護署環境保護人員訓練所   協辦單位 : 中華民國環境工程學會   出刊日期 : 民國107年11月5日

最新環境法令政策資訊
「環保署公告最新環境法令政策資訊」

圖1  實際增設臥式洗滌塔照片

107年環訓所與中華民國環境工程學會合作,提供環保專責及技術人員諮詢服務窗口,就法

規、理論或實務等提供釋疑或建議。

★中華民國環境工程學會

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友達光電龍潭廠空氣污染酸排異味
控制技術
環保技術新知

       光電業TFT-LCD 製程中使用酸、鹼液及有機溶劑化學品進行塗布、曝光、顯影、蝕刻、剝離和洗淨作業,因此排
放廢氣種類以酸、鹼排氣及揮發性有機化合物排氣(VOCs)為主,並且具有低濃度、高風量的特性。蝕刻與薄膜製程會
產生含有有機酸之醋酸及無機酸之硝酸等酸性廢氣,經由共同收集後,統一進入防制設備處理。而目前光電業之酸排
氣普遍使用濕式洗滌塔處理,廢氣與洗滌液於氣液兩相接觸後,液體將氣體中之溶質吸收移轉至液體,以達到分離的
效果。再利用酸鹼中和原理,於循環水中加入鹼性(NaOH)藥劑,藉由水洗吸附製程產生之酸性物質,將原酸性排氣中
性化且不具腐蝕性後經由排放管道排出。但許多研究結果及設備經驗顯示,濕式洗滌塔對低濃度(<3ppmv)之酸性氣
體去除效果並不佳,尤其對醋酸此類嗅味閾值僅10ppb 之酸性物質,仍容易藉由嗅覺被辨識。故即使已處理至符合當
地法令規範之排放標準,部份有機酸或無機酸污染物之嗅味閾值甚低,進而影響周界環境空氣品質。

 

       友達龍潭廠善盡企業責任,為降低異味對周遭環境空氣品質,重新自我檢視並積極與污染防制設備專業廠商合
作,竭力尋找更佳解決方案與可行控制技術,最後研擬從源頭分流與先行控制處理兩方面著手。一、源頭分流:友達
龍潭廠共有12 台中央洗滌塔處理酸性排氣,於製程中產生之酸性廢氣,皆共同收集後再分散至中央洗滌塔處理。然
而,針對濕蝕刻製程產出之酸性空氣污染物,檢測結果顯示其濃度相對高於其它製程甚多,亦為異味主要來源,若能
有效將此高濃度酸性廢氣專管處理,定能大幅減少污染物之排出。因此廠內近年展開專管收集及分流之大工程,使高
濃度之酸性污染物,可從源頭產生端,藉由專管分流至新增之洗滌處理設備,提高污染物之去除效率。二、控制處
理:有別於其他洗滌塔,臥式洗滌塔因具有1.塔高較低,可置於建築室內或高度受限之區域。2.設備功能彈性大,可
設計為單段或多段式加藥吸收層,3.去除效率佳且操作維護容易,綜合上述考量評估,將專管收集後之高濃度酸性廢
氣(如圖1),經由新增之臥式洗滌塔,進行多道鹼洗,將製程中高濃度酸性氣體先行轉移至洗滌水中去除至低濃度,而
後再與其他製程酸氣混合,進入中央洗滌塔處理。

友達光電股份有限公司桃園分公司 吳亞臻

參考文獻
1.
行政院環保署,「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」,1999。

2.張豐堂、粘愷峻、王秉才、吳珮如,光電業有機酸及無機酸共排淨化效能提升技術 ,工研院及傑智環境科技股份有限
公司,經濟部工業局研究計畫。

3.濕式洗滌塔之硫酸液滴處理效率提升研究,工業污染防制第101 期,2007。

4.黃俊超,高科技產業無機酸鹼廢氣組成與填充式濕式洗滌塔控制效率之研究,國立交通大學環境工程研究所碩士論
文,2003。

5.簡弘民、吳信賢, Shankar G. Aggarwal, 低濃度酸鹼廢氣高效率洗滌處理技術,工業污染防制, vol.89, pp.192-211,
 2004.

6.周明顯(2007),「臭味及揮發性有機物控制」,國立中山大學出版,中華民國九十六年十二月。

       改善結果顯示,新增濕蝕刻製程專管收集之醋酸濃度為252 ppm(如圖2),經過臥式洗滌塔之第一洗滌塔後, 醋酸濃度自252 ppm 明顯下降至19.5 ppm, 去除效率即達92%,顯示醋酸污染物經過第一段洗滌後,已有效減少排氣中醋酸污染物濃度;經過第二次洗滌後,去除率更提升至98%,隨後再經過既有中央洗滌塔處理後,醋酸濃度已低於檢測之偵測極限(MDL:0.36 ppm),總去除率高達99.8%(如圖3),即每年減少1.5 公噸之醋酸空氣污染物排放至大氣中。有鑒於此效益與經驗,廠內陸續斥資新台幣3 仟萬,相繼於中央洗滌塔前增設共3 台臥式洗滌塔,除了大幅提高醋酸污染物之去除率,亦有效減少廠區醋酸污染物之排放放及異味問題。

 

       於生產製程中排出的污染源,若能於源頭明確進行製程中高濃度污染專管收集,將高低不同濃度的污染源分流,不僅有效處理高濃度醋酸污染物,減少低嗅味閾值之醋酸污染物排放至大氣中,對於改善周界環境空氣品質具正面效益,落實友達龍潭廠積極善盡環境保護之職責。

圖2  專管收集及新增洗滌塔改善前醋酸濃度

圖3  專管收集及新增洗滌塔改善後醋酸去除率

開班資訊
環保證照訓練11月 ~ 12月開班期程表
班期名稱

期別

開班日期

開班地點

聯絡人

連絡電話
03-4020789


*乙級升甲級空氣污染防制
專責人員訓練班100(週末班)


10731

11/3-12/15

工研院(中壢)

劉嘉鈴

#625


*甲級空氣污染防制
專責人員訓練100(週末班)


10730

11/3-12/15

工研院(中壢)


*乙級空氣污染防制
專責人員訓練100(週末班)


10705

11/10-12/15

產基會


10714

11/3-12/8

中央大學


10715

11/17-12/9

台大慶齡中心


*空氣污染防制
專責人員到職訓練


10716

11/3-11/10

中央大學


10717

11/3-12/9

工研院(中壢)


10724

11/10-12/15

產基會


*甲級廢(污)水處理
專責人員訓練(週末班)


10725

11/10-12/9

產基會

劉怡伶

#604


10755

11/10-12/16

逢甲大學


10756

11/17-12/16

交通大學


10761

11/10-12/9

東海大學

*乙級廢(污)水處理
專責人員訓練(週末班)


10705

11/3-12/2

成功大學


10713

11/3-12/9

東華大學
美崙校區


10727

11/3-12/2

中山大學


10729

11/10-12/8

南亞技術學院


10732

11/10-12/9

東海大學


*乙升甲級廢(污)水處理
專責人員訓練


10726

11/10-12/9

產基會


10759

11/17-12/16

交通大學


10762

11/10-12/9

東海大學


10763

11/10-12/16

逢甲大學


*廢(污)水處理
專責人員到職訓練


10739

11/10-12/8

南亞技術學院


10742

11/10-12/9

東海大學


10743

11/3-11/17

成功大學


10744

11/17-12/16

交通大學


10745

11/3-11/4

中山大學


10746

11/10-12/16

逢甲大學


10747

11/3-12/9

東華大學
美崙校區


*甲級廢棄物處理
專業技術人員訓練(週末班)104


10718

12/15-12/31

工研院(台北)

盧素如

#606


10749

11/10-12/9

台大慶齡中心


*乙級廢棄物處理
專業技術人員訓練班
(週末班)104


10715

11/3-12/9

產基會(宜蘭)

盧素如

#606


*乙級廢棄物處理
專業技術人員訓練班
(週末班)104


10722

11/3-12/2

工研院(新竹)


10723

12/15-12/31

工研院(台北)


10746

11/3-12/2

成功大學


10747

11/3-12/1

台大慶齡中心


10748

11/3-12/8

中央大學


10750

12/15-12/31

工研院(中壢)


10752

11/17-12/23

屏東科技大學
環科系


10753

11/17-12/16

中興大學


*乙級廢棄物清除
專業技術人員訓練班
(週末班)104


10712

11/3-12/2

工研院(新竹)


10713

11/3-12/8

中央大學


10714

11/3-12/1

台大慶齡中心

*廢棄物清除、處理技術人員
到職訓練(甲、乙級)


10734

11/3-11/17

中央大學


10741

11/4-11/11

成功大學


10742

11/3-12/2

工研院(新竹)


10743

11/3-12/1

成功大學


廢棄物清除技術人員
到職訓練(丙級)

10705

11/4-11/11

成功大學


*甲級毒性化學物質
專業技術管理人員訓練
100 (週末班)


10715

11/17-12/9

產基會

曾文齡

#627


10720

11/10-12/2

成功大學


10722

11/3-12/1

高雄科技大學


10723

11/17-12/8

南亞技術學院


10727

11/17-12/9

東海大學


*乙升甲級毒性化學物質
專業技術管理人員訓練
100 (週末班)


10716

11/17-12/9

產基會


10721

11/17-12/9

東海大學


10725

11/3-12/1

高雄科技大學


10726

11/17-12/8

南亞技術學院


*乙級毒性化學物質
專業技術管理人員訓練
100 (週末班)


10708

12/1-12/16

產基會


10710

12/1-12/16

高雄科技大學


10711

11/24-12/9

東海大學


10712

11/24-12/9

南亞技術學院


10713

12/1-12/15

成功大學


*丙級毒性化學物質
專業技術管理人員訓練
100 (週末班)


10702

11/10-11/11

元培醫事
科技大學


*丙級毒性化學物質
專業技術管理人員訓練
100 (週末班)


10703

12/8-12/9

東海大學

曾文齡

#627


10705

11/17-11/18

成功大學


*毒性化學物質專業技術
管理人員到職訓練(甲、乙級)


10715

11/17-12/9

產基會


10716

11/3-12/1

高雄科技大學


10717

11/24-12/9

南亞技術學院


10718

11/17-12/9

東海大學


*室內空氣品質維護管理
專責人員訓練(週末班) 106


10708

11/24-12/2

雲林科技大學

林國平

#628


10716

12/15-12/22

崑山科技大學


10719

11/17-11/24

工研院(台北)


10721

11/17-11/25

嘉義勞工育樂中心


10730

12/1-12/8

高科大(第一校區)


10731

12/1-12/9

中央大學


10732

11/3-11/10

臺灣環保
(東海大學)


10734

11/10-11/17

弘光科大


室內空氣品質維護管理
專責人員訓練(密集班) 106


10710

11/6-11/8

臺灣環保
(東海大學)


10728

11/21-11/23

嘉南大學


10735

11/14-11/16

崑山科技大學


10736

11/12-11/15

中國勞安學會


10737

11/28-11/30

中國勞安學會附設桃園職業訓練中心


室內空氣品質維護管理
專責人員到職訓練


10707

12/1-12/8

高雄科技大學


*土壤污染評估調查人員
訓練班 (週末班)


10703

12/8-12/23

工研院(台北)


10704

11/10-12/1

工研院(台中)


*病媒防治業專業技術人員
訓練班 99(週末班)


10711

11/10-12/9

東海大學

蘇奕綾

#603


10714

11/17-12/9

淡江大學


*環境用藥專業技術人員(製造業
、販賣業、病媒防治業)
到職訓練


10713

11/19-11/25

淡江大學


10714

11/17-12/9

淡江大學


10715

11/10-12/9

東海大學


汽車行車型態及
惰轉狀態檢查人員訓練105


10701

11/27-11/30

車輛研究測試
中心


*機車排放控制系統及
惰轉狀態檢查人員訓練105


10711

11/27-11/30

台北科技大學


10712

12/18-12/21

台北科技大學


*病媒防治業專業技術人員
訓練班99(密集班)


10712

11/26-12/2

東海大學


10713

11/19-11/25

淡江大學


環境用藥製造業專業技術人員
訓練班99(週末班)


10703

12/8-12/28

成功大學

蘇奕綾

#603


環境用藥販賣業專業技術人員
訓練班99(週末班)


10703

12/8-12/28

成功大學


公私場所噪音狀況檢查或
鑑定人員訓練(密集班)


10706

12/4-12/7

工研院(桃園)


公私場所噪音狀況檢查或
鑑定人員訓練(週末班)


10708

12/8-12/16

東海大學

*表示跨月份辦理班期

*以上期程表為預訂辦理班期,實際開班日期請逕洽本所各承辦人員
*報名資格請參考: 環境保護專責及技術人員訓練管理辦法
                          http://law.moj.gov.tw/LawClass/LawAllIf.aspx?PCode=O0100006


班期類別


上課地點

課程類別

上課日期

聯絡方式


學歷核心
科目研習

國立臺中
教育大學

周末班

11/10~11/24


聯絡人:李雅鳳/陳品詩
電話:04-22183542
信箱:gienentcu@gmail.com


認證展延研習

國立雲林
科技大學

周末班

12/01~12/15


網路報名:
https://goo.gl/forms/1sewSU7tEGmNuaN13
聯絡人:廖小姐
電話:05-5342601#4479
信箱:liaomdy@yuntech.edu.tw

※以上為預定開班期程,實際開班狀況及課程事宜請逕洽環教機構承辦人或至環境教育認證系統-開辦課程查詢:
https://eecs.epa.gov.tw/front/apclass/agency_class_qry.aspx

環境教育研習課程11月 ~ 12月開班新訊
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